setup.shでビルドできなくなっていた

MR !289 (merged) で対応済みのもの（issueがなかったのでリリース前に作成）

setup.shでビルドできなくなっていた。 hecmw_etype_f.modが無い事が原因だった。hecmw1/src/common/Makefile.amを書き換え、ビルド順を変更した。